​大部分零件，可以使用氣體去油法去油後立刻滲氮。部分零件也需要用汽油清洗比較好，但在滲氮前之最後加工方法若采用拋光、研磨、磨光等，即可能產生阻礙滲氮的表麵層，致使滲氮後，氮化層不均勻或發生彎曲等缺陷。在滲氮前首先以氣體去油。然後使用氧化鋁粉將表麵作噴砂處理。​